미코씨엔씨, LCD 증착장비 세정 신기술 개발
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작성일 23-03-25 22:32
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미코씨엔씨(대표 이동근)는 LCD 증착장비의 오염 물질을 크게 줄여주는 열분해 공법의 세정 신기술을 개발했다고 4일 밝혔다.
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미코씨엔씨, LCD 증착장비 세정 신기술 개발
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이동근 대표는 “신기술 세정공법을 적용하면 챔버 부품 수명을 5배 연장시켜 제조업체별 LCD 패널 제조공정 기준으로 연간 50억원 상당의 비용 절감 效果를 거둘 수 있다”며 “화학물을 쓰지 않아 친환경적인데다 오염물질 제거시간도 2∼5시간으로 크게 단축할 수 있다”고 설명했다.
미코씨엔씨, LCD 증착장비 세정 신기술 개발
장지영기자@전자신문, jyajang@
미코씨엔씨는 코스닥 등록기업인 코미코의 자회사로 LCD 증착장비 세정 신기술 개발에 이어 LCD 컬러필터 제조 공정에서 발생하는 오염물질을 제거하는 새로운 세정기술 개발에도 박차를 가하고 있다아
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이번에 개발한 신기술은 기존 화학물을 통해 증착장비 챔버(chamber)를 세정하던 기술과 달리 열분해를 통해 오염된 챔버 알루미늄의 밀착력을 약화시킨 뒤 물리적으로 오염물을 박리하는 것으로 장비 부품 수명연장에 매우 效果적이라고 회사측은 덧붙였다.
