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[신소재] SEM의 원리와 구성

페이지 정보

작성일 23-04-29 22:56

본문

Download : SEM예비.hwp

(1) Gun+filament
순서
학교 實驗리포트로써 SEM의 원리와 구성에 대하여 쓴 리포트입니다 [참고資料] 주사현미경의 기초/황인옥/반도출판사 3~28P

Referece

(2) Lens
2)전계 방사형 전자총 (FE E.Gun)
[신소재] SEM의 원리와 구성

레포트 > 공학,기술계열

학교 실험레포트로써 SEM의 원리와 구성에 대하여 쓴 레포트입니다 [참고자료] 주사현미경의 기초/황인옥/반도출판사 3~28P 투과전자현미경학 개론/성창모/반도출판사 10~20P

(3) Detector

Download : SEM예비.hwp( 57 )

투과전자현미경학 개론/성창모/반도출판사 10~20P

1)열전자 방사형 전자총

SEM, LaB6, 전자총, 텅스텐 헤어핀, LaB6필라멘트, Lens, Detector, X-ray
설명
(4) 전자가 sample과 충돌하였을 때 일어나는 현상(X-ray, Auger E etc)

다.

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