[工學(공학) ] ICP 기기조사에 관해
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작성일 23-10-16 10:48
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다.
유전체 reaction 기 외부에
코일을 감는다
▼
코일에 걸리는
전기장 change(변화)( RF)
▼
내부에 유도 자장 및
2차 유도전류 발생
▼
reaction 기 내부에
고밀도 플라즈마 발생
2. 기존 ICP 방법의 drawback(걸점)
기존의 ICP 장치는 유전체 창(석영, 알루미나) 외부에 ICP 안테나를 설치하여 고주파 전력을 간접 전달하는 방식을 사용하였는데 치명적인 단점은 이 창의 내부에 도전성 물질(금속, TiN 등)이 코팅되면 전혀 전력 전달이 되지 않아 플라즈마를 유지할 수 없다는 단점이 있따 따라서 현재 일부 개발된 장비들도 유전체 박막 등 제한적으로만 응용이 시도되고 있따 또한 내부의 유전성 물질을 계속적으로 크리닝해 주어야 하는 유지보수의 문제와 대면…(skip)- 먼저보기를 참고 바랍니다.
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설명
ICP [ Inductively Coupled Plasma ]
